Bornitrid in PVD-Anlagen
In Anlagen für Physical Vapour Deposition (PVD) müssen Isolatoren und das Anlageninnere extremen Betriebsbedingungen standhalten, z.B. extreme elektrische & thermische Belastungen. Isolatoren aus Bornitrid stabilisieren den Lichtbogen (ARC) auf dem Target und schützen die Anlagentechnik vor unkontrollierten Entladungen.
Während langer Beschichtungszyklen vermeidet Bornitrid hartnäckige Ablagerungen von Schichtwerkstoffen auf Isolationsrahmen wie Ringe und Leisten, sowie auf Peripherie im Anlagen-Inneren. Trotzdem lassen sich regelmäßige mechanische Reinigungen, meist durch abrasives Sandstrahlen, nicht immer vermeiden. Durch die Wahl von mechanisch festerem Bornitrid kann Materialabtrag und Mikroerosion im Vergleich zu herkömmlichen Varianten reduziert werden und vermeidet dadurch erhöhte Wartungskosten.
Typische Einsatzbereiche:
- Abschirmrahmen, Leisten und Ringe
- Trennmittel für Karussell und sonstige Peripherie
Unsere Bornitrid-Empfehlungen
HeBoSint ® CL-N 200
Durch das optimale Verhältnis zwischen Silizium-Aluminium-Oxynitrid sowie hexagonalem Bornitrid bildet die Mischkeramik HeBoSint® CL-N 200 einen sehr guten Kompromiss aus verbessertem Verschleißverhalten jedoch gleichzeitig exzellenter Trennfähigkeit durch den relativ hohen Bornitrid-Anteil. Die Kombination führt zugleich zu ausgezeichneten elektrischen und thermischen Eigenschaften. Daher empfiehlt sich der Werkstoff für viele elektrische Isolations- und Gießanwendungen, z.B. als Material für PVD-Abschirmrahmen, aber auch als Düsen- und Tiegelmaterial im Metallguss.
Die Produkt-Highlights
- Sehr gute Trenneigenschaften gegen Metalle
- Leichte Reinigung
- Sehr gute elektrische Isolationseigenschaft
- Sehr gute Temperaturwechselbeständigkeit
- Sehr gute Wärmeleitfähigkeit
- geringes Materialgewicht
- Verbesserte mechanische Eigenschaften gegenüber reinem Bornitrid
HeBoSint ® SL-N 300
Die HeBoSint® SL-N 300 Keramik zeigt durch das Hinzufügen eines Silizium-Aluminium-Oxynitrids ein optimiertes Verschleißverhalten. Genau dort wo es auf eine hohe mechanische Beanspruchung und eine hohe Verschleißbeständigkeit ankommt zeigen Bauteilen aus diesem Material ihren Vorteil.
Die Produkt-Highlights
- Chemisch und mechanisch optimiertes Verschleißverhalten
- Hohe Verträglichkeit mit Metallschmelzen
- Erhalt der Reinheit der Schmelze
- gute Trenneigenschaften
- keine Benetzung durch die meisten Metallschmelzen
- geringes Materialgewicht
HeBoCoat ® SL-E 125
HeBoCoat® SL-E 125* ist ein Bornitrid-Spray in einer praktischen Aerosoldose. Durch die ethanolische Basis werden eine gute Benetzung des Untergrundes und eine schnelle Trocknung erreicht. Anorganische Binder sorgen vor allem bei hohen Temperaturen für eine sehr gute Haftung auf Metall, Glas, Keramik und Graphit. Der Feinpartikel-Anteil im Bornitrid-Pulver verleiht der Beschichtung gute Trenn- und Schmiereigenschaften.
Typische Anwendungsbereiche
- Trennmittel für Sinter-, Schweiß- und Lötanwendungen; anti-spatter
- Trenn- und Schmiermittel in der Glasverarbeitung
- Schutz von Graphitbauteilen beim Silizieren
- Beschichtung von Tiegeln, Düsen und Stopfen im Gießereibereich
- Anti-Reflexionsspray bei Oberflächenmessungen >200°C
Die Produkt-Hightlights
- sehr schnelle Trocknung
- sehr gute Trenn-, Schmier- und Schutzwirkung auch bei hohen Temperaturen
- gute Oberflächenhaftung
- hohe Produktionsleistung dank der verlängerten Standzeiten der Anlagen
- saubere Schweißnähte und Lötstellen
- mehr Sauberkeit im Vergleich zu den herkömmlichen Trennmitteln
- maximale Wirkung bei sparsamer Dosierung
- gute Trennwirkung gegenüber Metallspritzern
- trockener Schmierfilm – keine Öle, Fette und Silikone
* HeBoCoat Spray Line – Ethanol BN-Content ⋅10
HeBoCoat ® PL-E 125
HeBoCoat® PL-E 125* ist eine Bornitridbeschichtung auf ethanolischer Basis mit Zusätzen eines anorganischen Binders. Die Beschichtung haftet auch bei hohen Temperaturen sehr gut, sowohl auf metallischen Untergründen wie auch auf Glas, Keramik und Graphit. Aufgrund der ethanolischen Basis wird die Substratoberfläche hervorragend benetzt und eine schnelle Trocknung erzielt. Durch die Verwendung von reinem Bornitrid werden zudem Überzüge mit guten Trenn- und Schmiereigenschaften erreicht und somit Verschleiß und Kontaktreaktionen vermindert.
Typische Anwendungsbereiche
- Trennmittel für Sinter-, Schweiß- und Lötanwendungen; anti-spatter
- Trenn- und Schmiermittel in der Glasverarbeitung
- Schutz von Graphitbauteilen beim Silizieren
- Beschichtung von Tiegeln, Düsen und Stopfen im Gießereibereich
Die Produkt-Highlights
- schnelle Trocknung
- sehr gute Trenn-, Schmier- und Schutzwirkung auch bei hohen Temperaturen
- gute Oberflächenhaftung
- saubere Schweißnähte und Lötstellen
- hohe Produktionsleistung dank der verlängerten Standzeiten der Anlagen
- mehr Sauberkeit im Vergleich zu den herkömmlichen Trennmitteln
- trockener Schmierfilm – keine Öle, Fette und Silikone
- maximale Wirkung bei sparsamer Dosierung
- gute Trennwirkung gegenüber Metallspritzern
* HeBoCoat Power Line – Ethanol BN-Content ⋅10
Die Vorzüge von HeBoSint® Abschirmungen im Überblick
- Konstante, stabile Lichtbogenführung auf dem Target
- Schutz der Anlagentechnik vor ARC-Einschlägen
- Robustheit der Bornitrid-Abschirmungen gegenüber abrasiver Reinigung
- Geringere Wartungs- und Ersatzteilkosten
- Reduzierung von Prozessunterbrechungen
- Hohe Temperaturstabilität auch bei langen Zyklen
- Optimierter Wirtschaftlichkeit pro Beschichtungszyklus
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Unser Team hilft Ihnen gerne weiter.
Häufig gestellte Fragen
Warum ist Bornitrid ein bewährtes Material für PVD- und Plasma-Anlagen?
In PVD- (Physical Vapor Deposition) und Plasma-Anlagen unterliegen die Bauteile extremen Beanspruchungen. Bornitrid ist für diese Umgebung der ideale Werkstoff, da es eine perfekte Kombination aus extremer Temperaturbeständigkeit, hervorragender elektrischer Isolation und einer einzigartigen Antihaftwirkung bietet. Dadurch hält es den rauen Prozessbedingungen und Zwangsbedingungen in Plasmakammern dauerhaft und sicher stand.
Welche konkreten Bauteile aus Bornitrid kommen in diesen Anlagen zum Einsatz?
Aus unseren festen HeBoSint®-Werkstoffen werden bevorzugt Komponenten gefertigt, die besonders hohen Belastungen ausgesetzt sind. Typische Bauteile sind Abschirmrahmen und -leisten für Targets, Abdeckungen, Schienen, Schutzrohre sowie Isolatoren und komplette Auskleidungen für Plasmakammern. Diese gesinterten Präzisionsbauteile bieten eine hohe elektrische Spannungsfestigkeit bei extremer Hitze und lassen sich aufgrund des materialspezifischen Trennverhaltens besonders leicht reinigen.
Welchen wirtschaftlichen Nutzen bringen Bornitrid-Beschichtungen in PVD-Prozessen?
Metallische Abschirmrahmen und Vorrichtungen in PVD-Anlagen verschmutzen während des Beschichtungsprozesses in der Regel sehr stark. Um dies zu verhindern, werden sie mit unseren flüssigen HeBoCoat®-Beschichtungen (oder Plasmabeschichtungen) versehen, wodurch eine hochwirksame Antihaft- und Trennschicht entsteht. Dies erleichtert die spätere Reinigung der Rahmen massiv, wodurch der Wartungsaufwand sinkt und wertvolle Prozesszeit eingespart wird.